下一代集成电路铜互连钌基阻挡层平坦化及界面腐蚀抑制机理的研究

项目负责人周建伟
依托单位河北工业大学
立项年份2020
学科分类集成电路器件、制造与封装
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥59.0万
批准号62074049

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