多物理场耦合作用下极紫外光源驱动激光指向精度动态特性研究

项目负责人张阔
依托单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
立项年份2019
学科分类集成电路器件、制造与封装
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥23.0万
批准号61904178

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