基于光产酸剂和聚碳酸亚丙酯的临时键合/自动解键合研究

项目负责人朱智源
依托单位西南大学
立项年份2018
学科分类集成电路器件、制造与封装
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥24.0万
批准号61804132

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