面向扇出型封装再布线的低介电光敏聚酰亚胺的制备及构效关系研究

项目负责人李金辉
依托单位中国科学院深圳先进技术研究院
立项年份2019
学科分类集成电路器件、制造与封装
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥26.0万
批准号61904191

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