三维立体堆叠相变存储器制造方法探索

项目负责人张挺
依托单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
立项年份2010
学科分类集成电路器件、制造与封装
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥23.0万
批准号61006087

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