基于多场耦合效应的多孔介质填铜协同机制研究

项目负责人何为
依托单位电子科技大学
立项年份2014
学科分类集成电路器件、制造与封装
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥84.0万
批准号61474019

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