多物理场调控电生长铜柱互连阵列及其在集成电路封装载板应用

项目负责人何为
依托单位电子科技大学
立项年份2019
学科分类集成电路器件、制造与封装
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥63.0万
批准号61974020

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